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用于距离和位移测量的电容传感器
来源:delsys表面肌电脑电分析系统_EMG_EEG_人因工程 | 发布时间:2018/2/17 19:50:27 | 浏览次数:

用于距离和位移测量的电容传感器

在位移测量系统中,只有电容式传感器提供了距离测量干涉仪的分辨率。由于电容式传感器是完全非接触,他们不会干扰通过接触或通过添加质量测量的目标。我们的传感器作为位移测量系统的典型用途包括:



测量轴的轴向位移,精密滚珠丝杠和横膈膜。

精密机构和阶段的重复性测量。

加工零件的非接触尺寸测量。

精密轴承的测量



精密平面的平直度测量

微观意义上的电容传感器制作的直线度和平面度的高精度机床和阶段直接测量提供了一种方法,而平均误差在基于激光干涉仪系统。





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