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电容式薄膜压力传感器
电容式薄膜压力传感器
用于加工简单的薄膜压传感器
来源:delsys表面肌电脑电分析系统_EMG_EEG_人因工程 | 发布时间:2014/11/12 22:38:28 | 浏览次数:
压电薄膜片有很多不同尺寸和厚度可供选择,可以加工成若干简单的传感器,或将整张薄膜制作成扬声器。薄的薄膜片(28和52μm)最为常见,因为他们具有较高的电容和良好的机械品质。厚膜(110μm)用于耐用,或需要传感器的厚度方向(d33)的应用。薄膜的金属化方式包括银墨和喷粉两种。银墨最适合机械应力的应用。使用银墨金属化可以按客户要求定制,以方便接出引线。喷粉金属化比较容易损坏,适用于信噪比要求电极产生的质量负荷非常低的场合。标准的喷粉材料是700Å铜和100Å镍,将铜镍合金变成铜和镍,具有更好的导电性和抗氧化性。也可以按客户要求采用其他的金属(例如:金)进行金属化。
TAG:压电薄膜,PVDF,etouch
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