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用户蚀刻压电薄膜电极
来源:delsys表面肌电脑电分析系统_EMG_EEG_人因工程 | 发布时间:2016/4/29 14:16:21 | 浏览次数:

MSI即可买到银墨丝网印刷图形电极也可买到真空溅射镀膜图形电极,有时, 客户采购完全金属化的片材用于实验,制做他们自己想要的电极.这对丝网印刷银墨是困难的,因为不容易腐蚀和机械编织. 对真空溅射镀膜电极, 标准的光刻技术非常好.

 

    为在压电膜上制导电图形穿透而不短路上下电极, 可采用真空沉积电极法(注意: 不是为银墨推荐的).

 

    电源(9V电池)的一端通过一个导电焊盘或机械压力连接到薄膜上.另一端连到导电点(,导线端子等)需要隔离的部分拖在周围即可, 通常有效电流通过并在接触点产生电弧, 金属化层被蒸发. 同心保护环用以曾加可靠性.

 

    对薄真空溅射镀膜金属化更复杂的图形, 用感光气溶胶(如果需要在两面)喷涂压电薄膜是可能的.固化的感光气溶胶可通过掩模由UV(紫外)光曝光,象传统的PCB技术那样, 然后浸入腐蚀剂。非常薄金属层的蚀刻过程仅需几秒即可完成。

 

    用标准PCB腐蚀剂(三氯化铁)进行铜/镍金属化蚀刻是很好的. 要得到较好的结果,其它金属需要特殊的腐蚀剂(对金用王水).切记金属化层可能只有几百个埃(300~700A), 因而细图形极易造成划痕和裂纹.

 

 
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